甘肃科学学报

1997, (01)

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光照对金刚石薄膜压阻效应的影响
EFFECT OF LIGHT ILLUMINATION ON THE PIEZORESISTIVE EFFECT OF DIAMOND FILMS ①

王万录,廖克俊,张振刚,吴彬

摘要(Abstract):

分析研究CVD方法制备的多晶金刚石薄膜的压阻效应,结果表明光照对金刚石膜的压阻效应有显著的影响,并对所得结果进行了讨论

关键词(KeyWords): 金刚石薄膜,压阻效应,光照

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 王万录,廖克俊,张振刚,吴彬

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DOI: 10.16468/j.cnki.issn1004-0366.1997.01.001

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